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電子半導(dǎo)體車(chē)間空氣過(guò)濾器方案

電子半導(dǎo)體車(chē)間空氣過(guò)濾器解決方案半導(dǎo)體車(chē)間空氣凈化工程目標(biāo)是建立一個(gè)潔凈無(wú)塵的工作環(huán)境,防止空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等。半導(dǎo)體生產(chǎn)流水線上的半成品和成品造成

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電子半導(dǎo)體車(chē)間空氣過(guò)濾器方案

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電子半導(dǎo)體車(chē)間治理背景:

電子半導(dǎo)體車(chē)間空氣過(guò)濾器解決方案半導(dǎo)體車(chē)間空氣凈化工程目標(biāo)是建立一個(gè)潔凈無(wú)塵的工作環(huán)境,防止空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等。半導(dǎo)體生產(chǎn)流水線上的半成品和成品造成污染,傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是在車(chē)間的整個(gè)天花板上布滿(mǎn)高效過(guò)濾器,整個(gè)地面為回風(fēng)柵板。如今AstroFanFFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元使用自帶風(fēng)機(jī)的過(guò)濾裝置,解決了繁復(fù)的安裝和性?xún)r(jià)比問(wèn)題,是目前市場(chǎng)上一種最安靜、價(jià)格優(yōu)良的機(jī)組,為潔凈室輸送高質(zhì)里的循環(huán)空氣。領(lǐng)先的晶圓設(shè)備,微粒過(guò)濾和控制AMC是必須的。微粒過(guò)濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)首要擔(dān)心的問(wèn)題。不能很好的在潔凈室或設(shè)備中控制微粒或AMC將大大的削弱企業(yè)的經(jīng)營(yíng)利閏。潔凈室的最主要的問(wèn)題是產(chǎn)品、工具、加工過(guò)程和氣味控制的污染。半導(dǎo)體車(chē)間空氣凈化通常由:初效過(guò)濾器/中效過(guò)濾器/高效過(guò)濾器三級(jí)空氣過(guò)濾的空調(diào)送風(fēng)回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)、動(dòng)力及照明系統(tǒng)、工作環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測(cè)報(bào)警消防、通訊系統(tǒng)、人流和物流系統(tǒng)、工藝管路系統(tǒng)等部分組成。

電子半導(dǎo)體車(chē)間治理方案的描述:

傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是在車(chē)間的整個(gè)天花板上布滿(mǎn)高效過(guò)濾器,整個(gè)地面為回風(fēng)柵板。如今AstroFanFFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元使用自帶風(fēng)機(jī)的過(guò)濾裝置,解決了繁復(fù)的安裝和性?xún)r(jià)比問(wèn)題,是目前市場(chǎng)上一種最安靜、價(jià)格優(yōu)良的機(jī)組,為潔凈室輸送高質(zhì)里的循環(huán)空氣。用途:半導(dǎo)體車(chē)間空氣凈化工藝廣泛應(yīng)用于硅電子、收音機(jī)、電視機(jī)、電腦、家用電器等行業(yè)生產(chǎn)車(chē)間的空氣凈化。

 

電子半導(dǎo)體車(chē)間解決方案:

污染物 來(lái)源 引發(fā)問(wèn)題 解決方案
粉塵 空氣

造成集成電路斷路、短路,影響成品率

 

化學(xué)過(guò)濾模塊+普通、高效過(guò)濾器/FFU

 

NTH3,NMP

 

外氣

“T-top“現(xiàn)象

 

化學(xué)過(guò)濾模塊

 

電子半導(dǎo)體車(chē)間空氣過(guò)濾器解決方案半導(dǎo)體車(chē)間空氣凈化工程目標(biāo)是建立一個(gè)潔凈無(wú)塵的工作環(huán)境,防止空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等。半導(dǎo)體生產(chǎn)流水線上的半成品和成品造成污染,傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是在車(chē)間的整個(gè)天花板上布滿(mǎn)高效過(guò)濾器,整個(gè)地面為回風(fēng)柵板。如今AstroF an FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元使用自帶風(fēng)機(jī)的過(guò)濾裝置,解決了繁復(fù)的安裝和性?xún)r(jià)比問(wèn)題,是目前市場(chǎng)上一種最安靜、價(jià)格優(yōu)良的機(jī)組,為潔凈室輸送高質(zhì)里的循環(huán)空氣。

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